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产品资料

全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪

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产品名称: 全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪
产品型号: ME-L
产品展商: 沈阳科晶
产品文档: 无相关文档

简单介绍

THBCT-1000球坑测厚仪是一款利用测试样品表面镀层厚度的厚度测试设备。球坑法是一种简单实用的镀层厚度测试方法,主要用于硬质膜、固体润滑膜、陶瓷膜、金属膜等各种镀层厚度的检测。THBCT-1000球坑测厚仪不仅可对标准试样进行厚度测量,也可对小型的工件进行厚度测量。球磨后,在镀层样品上形成一球坑,通过数码CCD显微镜,结合智能化的测量分析软件,可快速准确的得出镀层的厚度。THBCT-1000球坑测厚仪体积小巧,可节约实验室空间,操作简单,可测量的薄膜种类多,是一款实用性强的膜厚测试仪。


全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪  的详细介绍

 

产品型号

ME-L全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪

主要特点

1、采用氘灯和卤素灯复合光源,光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)

2、可实现穆勒矩阵数据处理,测量信息量更大,测量速度快、数据更加精准

3、基于双旋转补偿器配置,可一次测量获得全部穆勒矩阵的16个元素,相对传统光谱椭偏仪可获取更加丰富**的测量信息

4、颐光砖利技术确保在宽光谱范围内,提供上等稳定的各波段光谱

5、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

6、集成对纳米光栅的分析,可同时测量分析纳米结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息

技术参数

1、应用:科研级/企业级

2、基本功能:Psi/Delta、R/T、穆勒矩阵等光谱

3、分析光谱:380-1000nm(支持扩展至210-1650nm)

4、单次测量时间:1-8s

5、重复性测量精度:0.005nm

6、觉对精度(直通测量空气)

  椭偏参数:ψ=45±0.05°△=0±0.1°

  穆勒矩阵:对角元素m=1±0.005;非对角元素m=0±0.005

7、光斑大小:大光斑2-3mm;微光斑200μm

可选配置

波段选择

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度选择

自动:45-90°

手动:55-75°(5°步进),90°

固定:65°

其他选择

Mapping选择:100×100mm(供参考,按需定制)

温控台:室温一600C(供参考,按需定制)

可选配件

1

温控台

 

2

Mapping扩展模块

 

3

真空泵

 

4

透射吸附组件

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