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产品资料

SE-Mapping光谱椭偏仪

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产品名称: SE-Mapping光谱椭偏仪
产品型号:
产品展商: 沈阳科晶
产品文档: 无相关文档

简单介绍

SE-Mapping光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪,采用行业前沿**技术,配置全自动Mapping测量模块,通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。SE-Mapping光谱椭偏仪广泛应用OLED,LED,光伏,集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。


SE-Mapping光谱椭偏仪  的详细介绍


产品型号

SE-Mapping光谱椭偏仪

主要特点

1、全基片椭偏绘制化测量解决方案

2、支持产品设计以及功能模块定制化,一键绘制测量

3、配置Mapping模块,全基片自定义多点定位测量能力

4、丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力

5、采用氘灯和卤素灯复合光源,光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)

6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集

7、具备全基片自定义多点自动定位测量能力,提供**膜厚检测分析报告

8、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

技术参数

1、自动化程度:固定角+ mapping

2、应用定位:检測型

3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R等光谱

4、分析光谱:380-1000nm(可扩至193-2500nm)

5、单次测量时间:0.5-5s

6、重复性测量精度:0.01nm

7、光斑大小:大光斑2-3mm,微光斑200um

8、入射角调节方式:固定角

9、入射角范围:65°

10、找焦方式:手动找焦

11、Mapping1程:300x300mm

12、支持样件尺寸:*大至300mm

可选配件

3

真空泵

 

4

透射吸附组件


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